面臨的挑戰:高風險、零容忍
半導體製程在要求絕對精度的極端條件下運行。等離子室、研磨系統和沉積都仰賴於保持超潔淨、穩定和可靠的陶瓷。隨著節點的縮小和複雜性的增加,對雜質的敏感度也隨之增加,而單顆微粒缺陷就可能使 CPU 價值降低 70%。這就是我們的客戶將高純度氧化鋁視為關鍵的原因。
我們如何給您提供幫助:POLARGuard™保護性能的純淨性
POLARGuard™ 是我們與頂尖半導體原始設備製造商共同開發的超高純度氧化鋁 專為關鍵任務應用設計。提供4N與5N等級規格,符合 業界最嚴苛的標準,具備超低雜質含量、穩定性能及 認證便利性。每批產品均經嚴格測試、全程可追溯,並經工程設計確保 大規模可靠性。
POLARGuard™ 是透過我們的專利製程生產,具有領先業界的效率,並大幅減少對環境的影響。
結果:穩定、持續的高純氧化鋁供應,可保障晶圓品質、最大化正常運作時間,並保持長期製程的效能。
POLARGuard™ 產品組合中的 PUREGuard™ 系列專為半導體製造而設計,在半導體製造中,純度、顆粒控制和特定應用性能是不可或缺的。它可使用于等離子蝕刻、ALD、CMP 及後段封裝步驟,採用 5N 級氧化鋁,可將污染減至最低、確保表面均勻性,並在製造過程的每個階段最大化製程可靠性。