挑戰
保護高風險環境中的產量
在先進的半導體製造廠中，不容有絲毫差錯。單一顆微粒的瑕疵就可能使晶片價值降低 70% 或更多。特別是隨著節點縮小、公差收緊，材料必須符合絕不妥協的潔淨度和一致性標準。從 CMP 到 ALD，氧化鋁的超高纯度不僅重要，而且具有決定性。
我們如何提供協助：
適用於 CMP、ALD 及其他的單一超潔淨解決方案
PUREGuard™ 是超高純氧化鋁的基準。以 5N (99.999%) 純度製造，以亞微米尺度設計，提供當今最先進半導體製程所需的潔淨度、控制和可靠性。無論您是要拋光晶圓、絕緣結構或鋪設原子層，PUREGuard™ 都能確保每顆微粒都能發揮功效。無填充物。沒有捷徑。只有精英級氧化鋁，讓製造廠無法妥協。
性能卓越。經證實能提供保護。
PUREGuard™ 粉末採用高產量、精益生產製程生產。這意味著更少的步驟、更嚴格的控制和更低的排放，而不會影響品質。 在 CMP 和 ALD 應用中，我們的粉末可將污染風險降至最低，並支援規模一致的結果。我們的粉末採用 ISO9001:2015 認證製程生產，具有完整的可追蹤性，可滿足高效能晶圓廠的需求。
值得信賴的純淨
PUREGuard™ 採用 ISO 9001:2015 認證製程，提供 99.999% 的 Al₂O₃ 純度。其製造目的在於降低污染風險，並確保高敏感度半導體製程（如 CMP 和 ALD）的一致結果。
我們保護的流程
我們的 PUREGuard™ 超高純氧化鋁支援先進陶瓷、後端晶片封裝和熱鍍膜應用的關鍵性能。客戶使用 PUREGuard™ 製造半導體和工業系統中的絕緣體、墊片、熱介面材料和保護塗層。
探索其他 POLARGuard™ 類別
選擇符合您的應用和格式需求的產品系列。
為醫療、航太與塗裝系統量身打造的氧化鋁。
專為藍寶石應用而設計。
為醫療、航太與塗裝系統量身打造的氧化鋁。