在半導體製造廠中,聚焦環和卡墊等陶瓷元件必須承受等離子、熱、化學、電壓和機械應力,周而復始,不容有失。
即使是輕微的磨損或污染也可能導致重大缺陷或長時間停機。因此,我們設計了 POLARGuard™ 超高純氧化鋁,以提供超高純度、抗電漿性和長期穩定性,讓您的陶瓷元件保持乾淨、堅固和可靠。
在 Polar Performance Materials,我們提供專為半導體陶瓷元件 (如聚焦環、襯板和靜電夾頭) 而設計的超高純氧化鋁。我們的材料具有狹窄的 PSD、可控的形態和可追蹤的品質,可支援壓制、燒結和加工製程,以確保尺寸穩定性、抗電漿性和對晶圓廠性能至關重要的清潔度。 此外,我們與客戶合作量身打造表面特性 (例如電荷、分散性、官能化),以確保與特定漿料化學的相容性,協助優化選擇性與平面性。 PolarGuard 採用精簡、低排放、高一致性的製程生產,並具備完整的可追蹤性。每一批產品都經過測試和驗證,並附有詳細的規格和 COA,以支援快速的晶圓廠驗證。
選擇適合您的陶瓷成型或燒結方法的形式。
工程氧化鋁,用於壓制零件和燒結陶瓷。
工程氧化鋁,用於壓制零件和燒結陶瓷。
陶瓷客戶依靠 PolarGuard 提供堅固、穩定的材料,他們可以將材料塑造成任何形狀。
4N 和 5N 材料支援燒結強度,保護重要的部分。
我們的實驗室會逐批監控 PSD、表面面積和污染程度。
從粉末到顆粒,我們的規格符合成型、燒結和塗層製程。
我們提供高純度氧化鋁,可確保電氣、結構和工業系統所用陶瓷的性能。
答:我們的高純氧化鋁粉、氧化鋁珠和氧化鋁丸可用於電絕緣體、耐磨零件和結構組件。這些應用需要強度、純度和可重複成型的特性。
答:我們提供 4N 至 5N 的純度等級,具有嚴格的 PSD 控制和乾淨的燒結行為。這可支援強度高、密度高且孔隙率或變化極小的陶瓷。
答:請提供您的規格和成型方法。我們會幫助您選擇合適的 PSD、純度和格式,或建議測試樣品進行驗證。
答:我們的報告包括 PSD 曲線、元素分析和形態資料。我們也會保留樣品和方法,以便日後追蹤。