专为半导体室制造。

我们的超高纯度氧化铝专为需要更出色的抗侵蚀性、热稳定性、电绝缘性和机械精度的半导体陶瓷元件而设计。这些特性对于确保在最恶劣的工艺环境中实现清洁、可靠和无缺陷的性能至关重要。

挑战
承受压力的性能

在半导体制造厂中,聚焦环和卡盘等陶瓷组件必须承受等离子体、热量、化学物质、电压和机械应力,周而复始,不容许有丝毫差错。

即使是轻微的磨损或污染也会导致重大缺陷或长时间停机。这就是我们设计 POLARGuard™ 超高纯度氧化铝的原因,它具有超高纯度、耐等离子体性和长期稳定性,从而使您的陶瓷元件保持洁净、坚固和可靠。

我们如何提供帮助
保护先进陶瓷的高纯氧化铝

在 Polar Performance Materials,我们为半导体陶瓷组件(如聚焦环、内衬和静电吸盘)提供超高纯氧化铝。我们的材料具有窄 PSD、可控形态和可追溯质量,可支持压制、烧结和加工工艺,确保尺寸稳定性、耐等离子性和清洁度,这些对工厂性能至关重要。 此外,我们还与客户合作定制表面特性(如电荷、分散性、功能化),以确保与特定浆料化学成分的兼容性,帮助优化选择性和平面性。 PolarGuard 采用精益、低排放、高一致性工艺制造,并具有完全可追溯性。每一批产品都经过测试和鉴定,并附有详细的规格和 COA,以支持快速的工厂鉴定。

相关产品

选择适合您的陶瓷成型或烧结方法的形式。

用于冲压件和烧结陶瓷的特种氧化铝。

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至纯至精,品质卓效

PolarGuard 为陶瓷客户提供坚固、稳定的材料,他们可以将其塑造成任何形状。

高纯氧化铝

4N 和 5N 材料支持烧结强度并保护重要部件。

严格的过程控制

我们的实验室逐批监测 PSD、表面积和污染水平。

量身定制的外形

从粉末到颗粒,我们的格式与成型、烧制和涂层工艺相匹配。

我们保护的流程

我们提供高纯度氧化铝,可确保电气、结构和工业系统所用陶瓷的性能。

设计可追溯

我们的质量系统可保持所有批次的可追溯性。无论您是需要确认 PSD 范围还是为第二个来源提供文件,我们都能让您轻松检索到所需的记录。

常见问题

答:我们的高纯度氧化铝粉、氧化铝珠和氧化铝球用于电绝缘体、耐磨部件和结构部件。这些应用需要强度、纯度和可重复的成型特性。

答:我们提供 4N 至 5N 级纯度,具有严格的 PSD 控制和清洁的烧结行为。这使得陶瓷坚固致密,孔隙率或变化极小。

答:请提供您的规格和成型方法。我们会帮助您选择合适的 PSD、纯度和格式,或推荐一个测试样品进行验证。

答:我们的报告包括 PSD 曲线、元素分析和形态数据。我们还保留样品和方法,以便将来进行溯源。