专为恶劣环境下的长寿命涂层而设计的氧化铝

我们为半导体涂层提供超纯、热稳定和机械稳定的氧化铝,能够在侵蚀性等离子体和高温环境中为您的关键元件提供稳定、高性能的保护。

挑战
不断缩小的节点、苛刻的条件、零误差范围

半导体工具中的氧化铝涂层必须能够承受等离子体、热量和真空,而不会降低或污染工艺。随着节点的收缩,即使是轻微的侵蚀或杂质也会造成灾难性的缺陷或产量损失。涂层必须具有超高纯度、耐等离子体性和热稳定性,以确保在关键环境中实现长寿命、清洁性能和高产量。

我们如何提供帮助
颗粒变化最小的超高纯氧化铝

我们为热喷涂、硬质涂层和氧化铝陶瓷涂层应用提供量身定制的粉末和微珠形式。我们严格的粒度控制和高纯度可促进均匀沉积,并为每次通过提供可靠的性能支持。

相关产品

选择适合您的喷涂系统或沉积方法的形式。可提供珠状、粒状和可定制的形式。如果您没有找到所需的产品,我们可以根据您的要求定制解决方案。

至纯至精,品质卓效

我们生产的氧化铝在高温、高压和磨损条件下都能保持良好的性能。结果如何?无论环境如何变化,氧化铝涂层都能保持稳定。

严格的粒子控制

窄 PSD 意味着均匀的图层和可重复的性能

受控形态学

精心设计的形状可减少溅射,提高流动一致性

值得信赖的文件

完整的质量保证记录和特定批次数据

我们保护的流程

我们提供用于涂层应用的氧化铝,如隔热涂层、耐磨层和电绝缘涂层。

设计可追溯

我们的质量保证流程专为半导体规模的可追溯性而设计。每个批次都有唯一的 ID 记录,与经过验证的测试方法绑定,并安全存档。如果您的团队需要重新查看粒度曲线或确认元素数据以进行鉴定或审核,我们将提供完整的性能历史记录。

常见问题

A: 我们的高纯氧化铝可用于高温环境下的隔热涂层和氧化铝陶瓷涂层。应用领域包括对纯度和一致性要求极高的航空航天和半导体元件。

答:我们提供的氧化铝粒度分布均匀、杂质含量低、烧结性能强。这有助于实现清洁沉积、改善粘接和长期涂层稳定性。

 答:我们主要提供为涂料原料定制的粉末形式。这些粉末专为高流动性和可预测的沉积而设计,纯度最高可达 5N,具体取决于应用。

答:虽然最终涂层性能取决于工艺参数,但我们的氧化铝通过控制 PSD、相纯度以及将可能影响粘接或微观结构的污染物降至最低来支持高质量的结果。

答:当然可以。我们可根据您的需求提供标准等级和定制分布。我们的实验室可以匹配或复制您现有的规格,并提供完整的文件。

答:我们提供全面的质量保证报告,包括粒度分析、元素分解和保留的样品记录。这有助于整个生产流程的验证、工艺重复性和材料可追溯性。