挑戦：
縮小するノード、過酷な条件、誤差の余地ゼロ
半導体製造装置のアルミナコーティングは、プロセスを劣化させたり汚染したりすることなく、プラズマ、熱、真空に耐えなければなりません。ノードの収縮に伴い、わずかな侵食や不純物でも、致命的な欠陥や歩留まりの低下を引き起こす可能性があります。コーティングは、クリティカルな環境において長寿命、クリーン性能、高歩留まりを保証するために、超高純度、耐プラズマ性、熱安定性を提供する必要があります。
どのように支援するか
粒子のばらつきが最も少ない超高純度アルミナ
溶射、ハードコーティング、アルミナセラミックコーティングの用途に合わせたパウダーとビーズを供給しています。当社の厳密な粒度制御と高純度は、均一な成膜を促進し、すべてのパスで信頼性の高い性能をサポートします。
関連商品
お客様のスプレーシステムや成膜方法に合った形状をお選びください。ビーズ、ペレット、およびカスタマイズ可能な形式があります。必要なものが見つからない場合は、ご要望に応じてカスタムソリューションを作成いたします。
純粋な精度。実証されたパフォーマンス。
私たちは、熱、圧力、摩耗に耐えるアルミナを製造しています。その結果アルミナコーティングは、どのような環境下でも安定した状態を保ちます。
タイトなパーティクル・コントロール
狭いPSDは均一なレイヤーと再現性のある性能を意味する
制御されたモルフォロジー
設計された形状はスパッタリングを低減し、フローの一貫性を向上させます。
信頼できる文書
完全な品質保証記録とバッチ固有のデータ
トレーサブル・バイ・デザイン
当社の品質保証プロセスは、半導体規模でのトレーサビリティのために構築されています。各バッチは一意のIDで記録され、検証済みの試験方法と関連付けられ、安全にアーカイブされます。お客様のチームが資格認定や監査のために粒度曲線を再検討したり、元素データを確認する必要がある場合、当社は完全な性能履歴を提供します。
よくある質問
A: 当社の高純度アルミナは、高温環境用の遮熱コーティングやアルミナセラミックコーティングに使用できます。用途としては、純度と一貫性が重要な航空宇宙や半導体部品が挙げられます。
A: 当社は、粒度分布が緻密で、不純物レベルが低く、強い焼結挙動を示すアルミナを供給しています。これにより、クリーンな成膜、ボンディングの改善、コーティングの長期安定性をサポートします。
A: 私たちは主に、コーティング原料用に調整されたパウダー・フォーマットを提供しています。これらは、高い流動性と予測可能な成膜のために設計されており、用途に応じて純度レベルは最大5Nです。
A: 最終的なコーティング性能はプロセスパラメータに依存しますが、当社のアルミナは、制御されたPSD、相純度、および結合や微細構造を阻害する可能性のある最小限の汚染物質によって、高品質の結果をサポートします。
A: もちろんです。お客様のニーズに応じて、標準グレードとカスタマイズされたグレードをご用意しています。当研究所では、完全な文書化とともに、お客様の既存のスペックと一致させることも、複製することも可能です。
A: 私たちは、粒度分析、元素分解、保持されたサンプル記録を含む完全な品質保証レポートをお届けします。これは、バリデーション、プロセスの再現性、生産工程にわたる材料のトレーサビリティをサポートします。