挑戦：
プレッシャーに耐えるパフォーマンス
半導体工場では、フォーカスリングやチャックのようなセラミック部品は、プラズマ、熱、化学物質、電圧、機械的ストレスに耐えなければなりません。
わずかな摩耗や汚染でも、大きな欠陥や長時間のダウンタイムを引き起こす可能性があります。そのため当社は、超高純度、耐プラズマ性、長期安定性を実現するPOLARGuard™ 超高純度アルミナを設計しました。
どのように支援するか
先端セラミックスを守る高純度アルミナ
Polar Performance Materials社では、フォーカスリング、ライナー、静電チャックなどの半導体セラミック部品用に設計された超高純度アルミナを提供しています。狭いPSD、制御されたモルフォロジー、およびトレーサブルな品質により、当社の材料はプレス、焼結、および機械加工プロセスをサポートし、ファブの性能に不可欠な寸法安定性、耐プラズマ性、および清浄度を保証します。 さらに、お客様と協力して表面特性（電荷、分散性、官能基化など）を調整し、特定のスラリー化学物質との適合性を確保することで、選択性と平坦性を最適化します。 PolarGuardは、完全なトレーサビリティを備えた、無駄のない、低排出ガス、高一貫性のプロセスで製造されています。すべてのバッチはテストされ、認定され、詳細な仕様書とCOAが添付され、迅速なファブ認定をサポートします。
関連商品
お客様のセラミック成形または焼結方法に合った形状をお選びください。
プレス部品および焼結セラミック用のエンジニアード・アルミナ。
プレス部品および焼結セラミック用のエンジニアード・アルミナ。
純粋な精度。実証されたパフォーマンス。
ポーラーガードは、セラミック製品の顧客から、何にでも成形できる丈夫で安定した素材を求められています。
高純度アルミナ
4Nと5Nの材料は焼結強度を支え、重要なものを保護する。
厳しい工程管理
私たちのラボでは、バッチごとにPSD、表面積、汚染レベルをモニターしています。
オーダーメイドのフォームファクター
パウダーからペレットまで、成形、焼成、コーティングの各プロセスに対応した形式をご用意しています。
私たちが保護するプロセス
電気、構造、工業システムに使用されるセラミックスの性能を守る高純度アルミナを供給しています。
トレーサブル・バイ・デザイン
当社の品質システムは、全バッチのトレーサビリティを維持します。PSDの範囲を確認する必要がある場合でも、セカンドソースの文書を提供する必要がある場合でも、必要な記録を簡単に取り出すことができます。
よくある質問
A: 当社の高純度アルミナ・パウダー、ビーズ、ペレットは、電気絶縁体、耐摩耗部品、構造部品に使用されています。これらの用途では、強度、純度、再現性のある成形特性が要求されます。
A:当社は、厳格なPSD制御とクリーンな焼結挙動を持つ4Nから5Nの純度レベルを提供しています。これにより、気孔率やばらつきを最小限に抑えた高強度、高密度のセラミックスをサポートします。
A: 仕様と成形方法をお知らせください。適切なPSD、純度、フォーマットの選択、または検証用のテストサンプルのご提案をいたします。
A: PSD曲線、元素分析、形態学的データを含む報告書を発行しています。また、将来のトレーサビリティのためにサンプルとメソッドを保管しています。