도전 과제: 높은 위험, 무관용 원칙
반도체 공정은 절대 정밀도가 요구되는 극한의 조건에서 실행됩니다. 플라즈마 챔버, 슬러리 시스템, 증착은 매우 깨끗하고 안정적이며 신뢰할 수 있는 세라믹에 의존합니다. 노드가 축소되고 복잡성이 증가함에 따라 불순물에 대한 민감도가 증가하며, 단일 입자 결함으로 인해 CPU 가치가 최대 70%까지 떨어질 수 있습니다. 그렇기 때문에 고객들은 고순도 알루미나를 미션 크리티컬한 것으로 취급합니다.
지원 방법 폴라가드™ 성능을 보호하는 순수성
POLARGuard™는 주요 반도체 OEM 업체들과 공동 개발한 초고순도 알루미나로 4N 및 5N 등급으로 제공되며, 초저 불순물, 일관된 성능, 손쉬운 인증을 위한 업계 최고 수준의 기준을 충족합니다. 검증 용이성에 대한 업계 최고 수준의 요구 사항을 충족합니다. 모든 배치는 엄격한 테스트를 거쳐 완전히 추적 가능하며, 대규모 환경에서도 대규모로 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다.
폴라가드™는 업계 최고의 효율성과 환경 발자국을 크게 줄인 소니의 독자적인 프로세스를 통해 생산됩니다.
그 결과 웨이퍼 품질을 보호하고 가동 시간을 극대화하며 장기적인 공정 성능을 지원하는 고순도 알루미나를 안정적이고 지속 가능하게 공급할 수 있습니다.
POLARGuard™ 포트폴리오의 PUREGuard™ 라인은 순도, 입자 제어 및 응용 분야별 성능이 타협할 수 없는 반도체 제조를 위해 특별히 제작되었습니다. 오염을 최소화하고 표면 균일성을 보장하며 팹의 모든 단계에서 공정 안정성을 극대화하도록 설계된 5N 등급 알루미나로 플라즈마 식각, ALD, CMP 및 백엔드 패키징 단계를 지원합니다.