도전 과제:
표면과 내부의 일관성
폴리싱에서는 반복성이 중요합니다. 반도체 CMP는 초순도, 정밀한 크기, 화학적 호환성, 높은 일관성을 갖춰야 합니다. 이러한 특성은 첨단 웨이퍼 제조에서 표면 품질, 수율 및 툴 가동 시간에 직접적인 영향을 미칩니다.
지원 방법:
최적의 표면 성능을 위한 고순도 알루미나
당사는 알루미나 연마 슬러리부터 광학 및 세라믹 마감에 이르기까지 연마 시스템을 위해 설계된 알루미나 형식을 제작합니다. PolarGuard™ 알루미나는 4N 및 5N 순도 표준을 충족하여 장치 성능을 저하시킬 수 있는 Fe, Na, Si와 같은 금속 오염 물질을 최소화합니다. 이는 이온 오염으로부터 보호하고 10nm 미만 노드에서 중요한 결함 없는 표면을 지원합니다.
또한 고객과 협력하여 표면 특성(예: 전하, 분산성, 기능화)을 맞춤화하여 특정 슬러리 화학 물질과의 호환성을 보장하고 선택성과 평탄도를 최적화합니다.
PolarGuard는 완벽한 추적성을 갖춘 저방출, 일관성 높은 린 공정을 사용하여 제조됩니다. 모든 배치에 대한 테스트와 검증이 이루어지며, 빠른 팹 인증을 지원하기 위해 세부 사양 및 COA가 함께 제공됩니다.
또한 고객과 협력하여 표면 특성(예: 전하, 분산성, 기능화)을 맞춤화하여 특정 슬러리 화학 물질과의 호환성을 보장함으로써 선택성과 평탄도를 최적화할 수 있습니다.
PolarGuard는 완벽한 추적성을 갖춘 저방출, 일관성 높은 린 공정을 사용하여 제조됩니다. 모든 배치에 대한 테스트와 검증이 이루어지며, 빠른 팹 인증을 지원하기 위해 세부 사양 및 COA가 함께 제공됩니다.
성능을 위한 설계. 목적에 맞게 명명되었습니다.
당사의 모든 재료는 중요한 응용 분야를 위해 설계된 고순도, 고무결성 알루미나에 대한 당사의 약속인 PUREGuard™ 포트폴리오의 일부입니다. 이 플랫폼 내에서 귀사의 공정에 적합한 소재를 쉽게 찾을 수 있도록 애플리케이션 중심의 제품군을 개발했습니다.
연마 매체 또는 연마 패드용 알루미나. 비드, 펠릿 및 사용자 지정 가능한 형태로도 제공됩니다. 필요한 것을 찾지 못하셨다면 요청하시면 맞춤형 솔루션을 만들어 드릴 수 있습니다.
연마 매체 또는 연마 패드용 알루미나. 비드, 펠릿 및 사용자 지정 가능한 형태로도 제공됩니다. 필요한 것을 찾지 못하셨다면 요청하시면 맞춤형 솔루션을 만들어 드릴 수 있습니다.
순수한 정밀성. 검증된 성능.
폴라가드™ 제품은 연마 사양을 충족하기 위해 일관된 고성능 알루미나가 필요한 고객들이 신뢰하는 제품입니다.
표면 청소 결과
긁힘을 줄이고 마감을 개선하는 서브미크론 입자
타이트한 PSD
모든 배치의 크기와 균일성을 테스트합니다.
전체 문서
크기, 순도 및 방법이 포함된 기록을 얻을 수 있습니다.
당사가 보호하는 프로세스
화학적 기계 연마 및 고급 표면 마감을 위한 맞춤형 고순도 알루미나를 공급합니다.
우리의 프로세스, 당신의 이점
크기, 모양, 표면 성능을 테스트한 다음 데이터로 이를 뒷받침합니다. 그 결과 더 매끄러운 마감과 예상치 못한 문제가 줄어듭니다.
자주 묻는 질문
A: 화학적 기계 연마 공정에서 고순도 알루미나는 일관된 제거율을 보장하고 표면 결함을 최소화합니다. 오염 수준이 낮고 입자 크기가 제어되어 웨이퍼 전체에서 균일성을 유지하고 정밀 응용 분야의 변동성을 줄이는 데 도움이 됩니다.
A: 당사의 파우더는 화학적 기계 연마(CMP), 정밀 광학 연마 및 결함이 적고 균일도가 높은 결과가 필요한 기타 고급 표면 마감 응용 분야에 사용됩니다.
A: 당사는 매끄러운 마감과 스크래치 감소를 보장하기 위해 서브미크론 범위의 엄격한 입자 크기 분포를 제공합니다. 특정 슬러리 또는 패드 조건에 맞게 맞춤형 PSD를 개발할 수 있습니다.
A: 네. 당사의 재료는 표면 손상을 방지하고 반도체 사용에서 중요한 균일한 제거율을 유지하기 위해 금속 불순물 수준이 낮도록 설계되었습니다.
A: 물론입니다. 고객과 협력하여 순도, 입자 크기 및 분포 사양을 조정하여 고객의 정확한 CMP 또는 표면 처리 조건을 지원합니다.
A: 당사는 주로 슬러리 분산과 안정적인 성능에 최적화된 연마용 파우더 형식을 제공합니다. 모든 배치에 기술 문서가 제공됩니다.