Die Herausforderung:
Leistung, die auch unter Druck überzeugt
In Halbleiterfabriken müssen Keramikkomponenten wie Fokusringe und Spannfutter Zyklus für Zyklus Plasma, Hitze, Chemikalien, Spannung und mechanische Beanspruchung standhalten – und das ohne jeglichen Spielraum für Fehler.
Schon geringfügiger Verschleiß oder Verunreinigungen können zu schwerwiegenden Defekten oder langen Ausfallzeiten führen. Aus diesem Grund haben wir POLARGuard™ – hochreines Aluminiumoxid – entwickelt, das sich durch höchste Reinheit, Plasmabeständigkeit und langfristige Stabilität auszeichnet – damit Ihre Keramikkomponenten sauber, robust und zuverlässig bleiben.
So helfen wir:
Hochreines Aluminiumoxid zum Schutz von Hochleistungskeramik
Bei Polar Performance Materials liefern wir hochreines Aluminiumoxid, das speziell für keramische Halbleiterkomponenten wie Fokusringe, Auskleidungen und elektrostatische Spannvorrichtungen entwickelt wurde. Mit engen Partikelgrößenverteilungen (PSDs), kontrollierter Morphologie und rückverfolgbarer Qualität unterstützen unsere Materialien Press-, Sinter- und Bearbeitungsprozesse, um die für die Leistung in der Fertigungsanlage entscheidende Maßhaltigkeit, Plasmabeständigkeit und Reinheit zu gewährleisten. Darüber hinaus arbeiten wir mit unseren Kunden zusammen, um die Oberflächeneigenschaften (z. B. Ladung, Dispergierbarkeit, Funktionalisierung) individuell anzupassen und so die Kompatibilität mit bestimmten Slurry-Chemien sicherzustellen, was zur Optimierung von Selektivität und Planarität beiträgt. PolarGuard wird in einem schlanken, emissionsarmen und hochkonsistenten Verfahren mit vollständiger Rückverfolgbarkeit hergestellt. Jede Charge wird geprüft, qualifiziert und mit detaillierten Spezifikationen sowie Prüfzeugnissen (COAs) geliefert, um eine schnelle Qualifizierung in der Fertigung zu unterstützen.
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Strenge Prozesskontrolle
Unser Labor überwacht die PSD, die Oberfläche und den Verunreinigungsgrad Charge für Charge.
Maßgeschneiderte Formfaktoren
Von Pulvern bis hin zu Pellets – unsere Formate sind auf die Formungs-, Brenn- und Beschichtungsprozesse abgestimmt.
Die Prozesse, die wir schützen
Wir liefern hochreines Aluminiumoxid, das die Leistungsfähigkeit von Keramiken gewährleistet, die in elektrischen, baulichen und industriellen Systemen zum Einsatz kommen.
Von Grund auf rückverfolgbar
Unser Qualitätssystem gewährleistet die Rückverfolgbarkeit über alle Chargen hinweg. Ganz gleich, ob Sie PSD-Bereiche bestätigen oder Unterlagen für eine zweite Bezugsquelle vorlegen müssen – bei uns können Sie die benötigten Unterlagen ganz einfach abrufen.
Häufig gestellte Fragen
A: Unsere hochreinen Aluminiumoxidpulver, -kügelchen und -pellets werden in elektrischen Isolatoren, verschleißfesten Bauteilen und Strukturkomponenten eingesetzt. Diese Anwendungen erfordern Festigkeit, Reinheit und reproduzierbare Formbarkeitseigenschaften.
A: Wir bieten Reinheitsgrade von 4N bis 5N mit strenger PSD-Kontrolle und sauberen Sinterverhalten an. Dies ermöglicht die Herstellung fester, dichter Keramiken mit minimaler Porosität und minimalen Abweichungen.
A: Teilen Sie uns Ihre Spezifikationen und Ihr Herstellungsverfahren mit. Wir helfen Ihnen bei der Auswahl des richtigen PSD, der richtigen Reinheit und des richtigen Formats oder empfehlen Ihnen ein Testmuster zur Validierung.
A: Wir fügen Berichte mit PSD-Kurven, Elementanalysen und Morphologiedaten bei. Außerdem bewahren wir Proben und Methoden zur späteren Rückverfolgbarkeit auf.