De uitdaging:
Consistentie op en in het oppervlak
Bij het polijsten is herhaalbaarheid van cruciaal belang. CMP-materialen voor halfgeleiders moeten ultrazuiver zijn, de juiste afmetingen hebben, chemisch compatibel zijn en een zeer hoge consistentie vertonen. Deze eigenschappen hebben een directe invloed op de oppervlaktekwaliteit, de opbrengst en de bedrijfstijd van de apparatuur bij de productie van geavanceerde wafers.
Hoe wij helpen:
Zeer zuiver aluminiumoxide voor optimale oppervlakteprestaties
Wij produceren aluminiumoxideproducten die speciaal zijn ontworpen voor polijstsystemen, variërend van aluminiumoxide-polijstslurries tot optische en keramische afwerking. PolarGuard™-aluminiumoxide voldoet aan de 4N- en 5N-zuiverheidsnormen, waardoor metaalverontreinigingen zoals Fe, Na en Si – die de prestaties van apparaten kunnen aantasten – tot een minimum worden beperkt. Dit biedt bescherming tegen ionische verontreiniging en draagt bij aan defectvrije oppervlakken, wat van cruciaal belang is bij knooppunten kleiner dan 10 nm.
Bovendien werken we samen met klanten om oppervlakte-eigenschappen (bijv. lading, dispergeerbaarheid, functionalisering) op maat af te stemmen, om compatibiliteit met specifieke slurry-chemieën te waarborgen en zo de selectiviteit en vlakheid te helpen optimaliseren.
PolarGuard wordt vervaardigd via een gestroomlijnd, emissiearm en zeer consistent proces met volledige traceerbaarheid. Elke batch wordt getest, gekwalificeerd en gaat vergezeld van gedetailleerde specificaties en COA’s om een snelle fab-kwalificatie te ondersteunen.
Bovendien werken we samen met klanten om de oppervlakte-eigenschappen (bijv. lading, dispergeerbaarheid, functionalisering) op maat aan te passen om compatibiliteit met specifieke slurry-chemieën te waarborgen, wat helpt bij het optimaliseren van selectiviteit en vlakheid.
PolarGuard wordt vervaardigd via een gestroomlijnd, emissiearm en zeer consistent proces met volledige traceerbaarheid. Elke batch wordt getest, gekwalificeerd en gaat vergezeld van gedetailleerde specificaties en COA’s om een snelle fab-kwalificatie te ondersteunen.
Ontworpen voor prestaties. Genoemd naar zijn doel.
Al onze materialen maken deel uit van het PUREGuard™-assortiment – onze belofte van hoogzuiver, zeer betrouwbaar aluminiumoxide, speciaal ontworpen voor kritische toepassingen. Binnen dit platform hebben we toepassingsgerichte productfamilies ontwikkeld, waardoor u eenvoudig het juiste materiaal voor uw proces kunt kiezen.
Aluminiumoxide voor polijstmiddelen of schuurpads. Ook verkrijgbaar in de vorm van bolletjes, korrels en op maat gemaakte formaten. Mocht u niet vinden wat u zoekt, dan kunnen wij op verzoek een oplossing op maat voor u samenstellen.
Aluminiumoxide voor polijstmiddelen of schuurpads. Ook verkrijgbaar in de vorm van bolletjes, korrels en op maat gemaakte formaten. Mocht u niet vinden wat u zoekt, dan kunnen wij op verzoek een oplossing op maat voor u samenstellen.
Pure precisie. Bewezen prestaties.
POLARGuard™-producten genieten het vertrouwen van klanten die behoefte hebben aan consistent, hoogwaardig aluminiumoxide om aan de specificaties voor het polijsten te voldoen.
Resultaten bij een schoon oppervlak
Submicron-deeltjes die krassen verminderen en de afwerking verbeteren
Strakke PSD’s
Elke partij wordt getest op maat en uniformiteit
Volledige documentatie
Je krijgt gegevens over de grootte, zuiverheid en methoden
De processen die wij beschermen
Wij leveren hoogzuiver aluminiumoxide dat speciaal is afgestemd op chemisch-mechanisch polijsten en geavanceerde oppervlaktebewerking.
Chemisch-mechanisch polijsten voor halfgeleiders
Zorgt voor vlakheid en prestaties in het chemisch-mechanische polijstproces dat wordt gebruikt voor halfgeleiderwafers
Optisch en glaspolijsten
Fijne poeders en bolvormige korrels voor een gelijkmatige afwerking van lenzen en beeldschermen
Oppervlaktevoorbereiding van geavanceerde materialen
Voor keramiek, metalen of composietmaterialen die een fijne afwerking vereisen
Ons proces, uw voordeel
We testen op afmetingen, vorm en oppervlakte-eigenschappen, en onderbouwen dit vervolgens met gegevens. Het resultaat: een gelijkmatiger afwerking en minder verrassingen.
Veelgestelde vragen
A: Bij het chemisch-mechanische polijstproces zorgt hoogzuiver aluminiumoxide voor consistente afslijpsnelheden en worden oppervlaktefouten tot een minimum beperkt. Dankzij de lage verontreinigingsniveaus en de gecontroleerde deeltjesgrootte blijft de uniformiteit over de wafers behouden en wordt de variabiliteit bij precisietoepassingen verminderd.
A: Onze poeders worden gebruikt bij chemisch-mechanisch polijsten (CMP), optisch precisiepolijsten en andere geavanceerde toepassingen voor oppervlakteafwerking waarbij resultaten met weinig defecten en een hoge uniformiteit vereist zijn.
A: Wij bieden nauwe deeltjesgrootteverdelingen in het submicronbereik om een gladde afwerking en minder krassen te garanderen. Er kunnen op maat gemaakte deeltjesgrootteverdelingen worden ontwikkeld die zijn afgestemd op specifieke slurry- of padomstandigheden.
A: Ja. Onze materialen zijn ontworpen om een laag gehalte aan metaalverontreinigingen te garanderen, om oppervlakteschade te voorkomen en een gelijkmatige afslijpsnelheid te behouden, wat van cruciaal belang is bij het gebruik in de halfgeleiderindustrie.
A: Absoluut. We stemmen samen met onze klanten de specificaties voor zuiverheid, deeltjesgrootte en deeltjesverdeling af, zodat deze precies aansluiten bij hun CMP- of oppervlaktevoorbereidingsomstandigheden.
A: Wij bieden voornamelijk poedervormige producten aan voor het polijsten, die zijn geoptimaliseerd voor een goede verspreiding in de slurry en stabiele prestaties. Bij elke partij wordt technische documentatie meegeleverd.